Tillämpning av kristallisation av RTP snabbglödgningsugn i anisotropikontroll av järngranatfilmer

Jan 05, 2024

Lämna ett meddelande

Järngranater av sällsynta jordartsmetaller (REIGs) är ett slags mineral rikt på sällsynta jordartsmetaller, på grund av dess unika fysikaliska och kemiska egenskaper, som visar stor användningspotential inom området spintronik och magnetiska elektroner. Dess snabba spinnvågsmekanik, höga domänväggshastigheter och låga till måttliga dämpningsegenskaper gör att den uppvisar utmärkta prestanda i mikrovågsenheter och högfrekvent kommunikation [1]. Samtidigt har granat av sällsynt jordartsmetall också goda magnetiska egenskaper, vilket gör den till ett idealiskt val för datalagring och magnetiska sensorer, inom områdena elektronik, kommunikation, lasrar och datalagring. Spänningsinducerad anisotropimodulering på granatfilmer av sällsynt jordartsmetall som odlats på piezoelektriska substrat har emellertid inte visats.

 

För närvarande använde Miela J. Gross[2] magnetronförstoftningsteknik för att förbereda 5nm SiO2-beläggningar på Si (001) eller PMN-PT (011) substrat. Därefter samdeponerades de kemiska DyIG- och YIG-målen med pulsad laserdeposition (PLD)-teknik för att förbereda 42nm tjocka YDyIG-filmer. Snabb värmebehandling (RTP) under 5 minuter vid 750 graders O2-atmosfär utfördes för att främja kristalliseringen av filmen och därigenom förbättra ordningen och prestanda för dess granatstruktur.